地坪施工工具的浮动抛光加工工作是一种平面度比较高，不会出现表面塌边与变形缺陷的一种超精密精加工的方法，也是最终极的抛光加工方得，能够使平面度比较高，使工具和工件进行高速地回转，使工件表面形成一层液膜，让工件在不接触抛光器而产生出在浮动状态下的抛光。
地坪施工工具进行超精密浮动式的抛光加工，在表面上会有比较多的缺陷，从材料上来去除工件表面原子所需要的能量，比坏材料结合所需要的能量更小一些，受到的冲击也会被去除，当类物质产生相互性摩擦的时候，物质表面会出现分布重叠，强度较高物质表面的原子会被强度较低物质表面原子的冲击去除掉，以实现对工件硬性材料的加工，这样就不会产生出变形错位的现象。

   工件最高层的表面原子和打磨剂的粒子在最外层表面原子相互扩散，能够降低工件表面最外层表面原子这样一种加工方法的加工效率会使得抛光粒子朝向工件表面冲击，冲击速度的结合能量分布和相互扩散程度，使表面原子的结合能量有所下降。为了提高地坪施工工具的加工效率，能够获得化学反应的软质物质来作为抛光剂。

使用传统的打磨抛光方法主要是以硬质的磨粒来加工软质材料的工件，尽管加工的效率很高，但是仍然很难避免工件表面的材料出现了变形和破坏，但是如果选择了直径比较小的硬质离子来冲击工件表面，工件就不会产生了变形，这样可以去除工件表面最外层的表面原子，也就不会产生错位，可以使用超微粒子，避免较大的粒子混入。